簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "徐世祥".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="濺鍍法"


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    全濺鍍製程低溫多晶矽/鍺薄膜電晶體之研究
    • 電子工程系 /98/ 博士
    • 研究生： 陳信吉   指導教授： 葉文昌
    • 本研究開發氧化矽閘極絕緣膜及多晶矽膜之低溫濺鍍沉積技術，以利塑膠基板上薄膜電晶體之製作。此外，我們利用準分子雷射退火技術實現鍺膜之超級橫向成長，並觀察此長晶現象。本研究在室溫下藉由脈衝直流磁控反應性…
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